硅的各向异性腐蚀,用的晶向,跟N型P型有关系吗,还是必须用N型?

来源：学生作业帮助网 编辑：作业帮 时间：2024/05/03 22:44:31
硅的各向异性腐蚀,用的晶向,跟N型P型有关系吗,还是必须用N型?

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单晶硅与碱的各项异性腐蚀,主要是由于各晶面原子排列密度、方式不同引起的.与其中的掺杂类型无关.因为典型的掺杂为ppm极,即含量很少.当然你要是说我家的掺杂很重,重到破坏大部分晶格的排列了,那肯定有影响、近乎同性腐蚀了.不过即使这样也与导电型号无关.
另外跟晶相也无关.因为不管什么晶相都会主要沿（111）面刻下去.然而只有（100）的硅腐蚀绒化效果最好.
腐蚀的重要参数是碱液浓度和温度.这是后话,按下不表.

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